用于半导体行业检测程序的定制紫外线物镜

业纳提供定制的紫外线物镜和组件，以及用于质量保证的单独的光学模块。这些被成功地用于半导体工业的过程控制系统，是这一领域性能的决定性因素。

例如，我们的超精密生产和系统检测程序保证了最佳的图像质量，并因此为用户提供高波吞吐量。紫外线物镜和光学模块可用于激光光源的最新进展。它们覆盖整个深紫外线波长范围，主要为193 纳米和266 纳米。在这些波长中（深紫外线），偏振和波前误差处于技术上可行的范围内。

业纳提供整个工艺链 - 从规划紫外线物镜到批量生产。我们根据您的特定要求研发检测用物镜，并开展可行性研究。我们与您一起界定服务描述，以让其精准地符合您的要求。在生产过程中，我们的专家采用超精密检测方法，以根据目标规格调整系统。我们将紫外线物镜置于热和机械应力中，以验证其在存储、交通和安装的环境稳定性。若您对我们的紫外线物镜产品满意，我们亦可为您批量生产该产品。