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用于半导体行业检测程序的定制紫外线物镜

业纳的紫外线物镜符合严格的要求,是半导体工业中的光学过程控制系统性能的决定性因素。

定制透镜
业纳提供定制的紫外线物镜组件,以及用于质量保证的单独的光学模块。这些被成功地用于半导体工业的过程控制系统,是这一领域性能的决定性因素。

例如,我们的超精密生产和系统检测程序保证了最佳的图像质量,并因此为用户提供高波吞吐量。紫外线物镜和光学模块可用于激光光源的最新进展。它们覆盖整个深紫外线波长范围,主要为193 纳米和266 纳米。在这些波长中(深紫外线),偏振和波前误差处于技术上可行的范围内。

业纳提供整个工艺链 - 从规划紫外线物镜到批量生产。我们根据您的特定要求研发检测用物镜,并开展可行性研究。我们与您一起界定服务描述,以让其精准地符合您的要求。在生产过程中,我们的专家采用超精密检测方法,以根据目标规格调整系统。我们将紫外线物镜置于热和机械应力中,以验证其在存储、交通和安装的环境稳定性。若您对我们的紫外线物镜产品满意,我们亦可为您批量生产该产品。


优势:

  • 自定义:符合您要求的紫外线物镜
  • 验证:在安装位置以及环境和应用条件下
  • 最佳图像质量:深紫外线波长<0.035 λ的波前误差,偏振消光比(PER)高达1:1000
  • 性能的决定性因素:已成功地用于光学过程控制系统
  • 经验:我们在半导体供应行业作为合作伙伴已有超过25 年的历史
  • 使用寿命长:低污染安装和镀膜技术

应用领域

  • 半导体工业:波和光罩检测


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