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借助专利安装固定技术对深紫外(DUV)光学元件进行高精度调整

业纳开发了一种用于深紫外(DUV)光学元件的无应力安装固定技术,这是 Thüringer Aufbaubank(TAB)资助的一个项目的一部分。这项技术无需粘合剂即可保持住光学元件。

深紫外(DUV)精密光学元件
已申请专利的该光学元件安装固定技术补偿光学元件系统的热应力。业纳开发出特别适用于大数值孔径深紫外(DUV)光学元件的技术。此项新概念使光学元件可以被快速、牢固且准确地设置,精度小于 10 纳米

完全不需要使用粘合剂,并使用可堆叠技术(堆叠-安装)。这就降低了压力感应双折射并提高了光学元件的稳定性 — 物镜可以在即使最苛刻的条件下使用。

这一新概念意味着您可以准确地安装固定光学元件:您也可以将其放置在垂直于光轴,范围约为 300 微米内的位置,误差小于 10 纳米。 这意味着您可以在深紫外(DUV)光学系统中非常精确调整光学元件,并确保其安装稳固

业纳的该项技术是 Thüringer Aufbaubank 资助的一个项目的一部分,用于氟化钙和石英玻璃等光学材料和不锈钢、铝和铜等安装固定材料。

统一的波前测量系统提供了质量保证


通过波前测量系统,您可以快速、准确地调整和验证整个系统,从而节省您的时间和金钱。业纳综合一个具有普遍适用性的测量系统的不同测量原则 — 节省开发时间和成本。

优点

  • 专利技术:针对大数值孔径深紫外(DUV)光学元件特别开发
  • 无需粘合剂:使用基于堆叠的技术(堆叠-安装)
  • 强大:补偿了光学系统中的偏移热应力
  • 极其精密 :定位光学元件时精确到小于 10 纳米
  • 可重复性:技术适应于各种光学材料
  • 节省成本:通过波前测量系统快速设置整个系统


应用领域

  • 半导体设备:光束控制和照明系统
  • 平板显示行业:材料微加工:


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