借助专利安装固定技术对深紫外（DUV）光学元件进行高精度调整

已申请专利的该光学元件安装固定技术补偿光学元件系统的热应力。业纳开发出特别适用于大数值孔径深紫外（DUV）光学元件的技术。此项新概念使光学元件可以被快速、牢固且准确地设置，精度小于 10 纳米。

完全不需要使用粘合剂，并使用可堆叠技术（堆叠-安装）。这就降低了压力感应双折射并提高了光学元件的稳定性 — 物镜可以在即使最苛刻的条件下使用。

这一新概念意味着您可以准确地安装固定光学元件：您也可以将其放置在垂直于光轴，范围约为 300 微米内的位置，误差小于 10 纳米。 这意味着您可以在深紫外（DUV）光学系统中非常精确调整光学元件，并确保其安装稳固。

业纳的该项技术是 Thüringer Aufbaubank 资助的一个项目的一部分，用于氟化钙和石英玻璃等光学材料和不锈钢、铝和铜等安装固定材料。

统一的波前测量系统提供了质量保证

通过波前测量系统，您可以快速、准确地调整和验证整个系统，从而节省您的时间和金钱。业纳综合一个具有普遍适用性的测量系统的不同测量原则 — 节省开发时间和成本。