对于窗口、透镜和棱镜等光学元件， 您需要可靠的增透膜。增透膜可以防止光线被反射，从而提高通光率。这意味着您可以获得高精度的结果。业纳的增透膜适用于从深紫外（DUV）到红外（IR）光谱范围的光学元件。我们可以根据客户的确切要求调整其设计。如果需要，我们可以提供有关清洁、处理和交付方面的详细建议。
您可以从多光谱增透膜、宽带和窄带膜或单层增透膜中进行选择。请联系我们的专家咨询 - 他们可以按需定制生产增透膜。
优点
- 强大：高效抗反射
- 耐受性：某些增透膜极其稳定（例如类金刚石碳涂层），可以承受极端环境条件
- 持久耐用：在预设工作条件下，深紫外增透膜的使用 寿命 非常长
- 多功能：适用于窗口、透镜和棱镜等各种光学元件
应用领域
- 半导体工业：深紫外（DUV）激光器的增透膜
成功解决方案示例：深紫外（DUV）激光器增透膜
深紫外（DUV）激光器增透膜
任务：
深紫外（DUV）激光器光束路径中的的窗口、透镜、棱镜及其他光学元件需要有效且持久耐用的涂层。我们的生产过程包括对活性表面进行抛光、清洁等适当工艺操作，以及随后的处理和包装。
解决方案：
- 按系列批量生产 266 nm、248 nm 和 193 nm 波长的带有抗反射涂层的元件。
- 生产宽带增透膜和适用于入射角高达 75° 的的涂层。
- 用于 248 nm 或 193 nm 光的防反涂层的反射率小于 0.2%（i = 0°）。
- 针对248 nm 激光的破坏阈值为超过 2.5 J/cm²（1-on-1，25 ns 的脉冲长度）。
JENODUR 201 和 JENODUR 203 涂层可以作为标准产品提供。
你有什么问题吗？我们的专家很乐意提供帮助。
Optics & Optical Systems
+49 3641 65-3677
Robin Bai
Light & Optics | North America
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