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适用于多种光学元件的增透膜

业纳增透膜高度有效,为光学元件提供最佳反射能力,最大程度地减少反射损失。

Jenodur309 增透膜

对于窗口、透镜和棱镜等光学元件, 您需要可靠的增透膜。增透膜可以防止光线被反射,从而提高通光率。这意味着您可以获得高精度的结果。业纳的增透膜适用于从深紫外(DUV)到红外(IR)光谱范围的光学元件。我们可以根据客户的确切要求调整其设计。如果需要,我们可以提供有关清洁、处理和交付方面的详细建议。

您可以从多光谱增透膜、宽带和窄带膜或单层增透膜中进行选择。请联系我们的专家咨询 - 他们可以按需定制生产增透膜。

优点

  • 强大:高效抗反射
  • 耐受性:某些增透膜极其稳定(例如类金刚石碳涂层),可以承受极端环境条件
  • 持久耐用:在预设工作条件下,深紫外增透膜的使用 寿命 非常长
  • 多功能:适用于窗口、透镜和棱镜等各种光学元件

应用领域

  • 半导体工业:深紫外(DUV)激光器的增透膜

成功解决方案示例:深紫外(DUV)激光器增透膜

深紫外增透膜的示例:JENODUR 201

深紫外(DUV)激光器增透膜

任务:

深紫外(DUV)激光器光束路径中的的窗口、透镜、棱镜及其他光学元件需要有效且持久耐用的涂层。我们的生产过程包括对活性表面进行抛光、清洁等适当工艺操作,以及随后的处理和包装。

解决方案:

  • 按系列批量生产 266 nm、248 nm 和 193 nm 波长的带有抗反射涂层的元件。
  • 生产宽带增透膜和适用于入射角高达 75° 的的涂层。
  • 用于 248 nm 或 193 nm 光的防反涂层的反射率小于 0.2%(i = 0°)。
  • 针对248 nm 激光的破坏阈值为超过 2.5 J/cm²(1-on-1,25 ns 的脉冲长度)。

JENODUR 201 和 JENODUR 203 涂层可以作为标准产品提供。

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元件

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Robin Bai

+86 21 38252380

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