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符合标准的高度光反射金属反射镜

业纳的高品质金属反射镜在在较宽的光谱范围实现稳定的光反射。

光学反射镜

业纳的金属反射镜主要使用银涂层。这两种材料能很好地反射光线。我们通过气相沉积工艺并采用最先进技术将金属直接覆盖到光学元件(可能由陶瓷或玻璃等材料制成)表面上。我们的专家以很高的精度加工各种各样几何形状的工件。金属反射镜的光反射仅有限依赖于光线的入射角,受偏振效应的影响则很小。这就保证了反射在宽光谱范围内的一致性

我们使用银和铝制造后表面反射镜前表面反射镜。包括用于深紫外(DUV)或可见光(VIS)应用的铝质反射镜以及用于深紫外(DUV)、可见光(VIS)、近红外(NIR)和红外(IR)波段应用的银质反射镜。如果需要,我们还可以提供采用金、铬或镍铬的涂层。业纳的金属反射镜采用了保护措施,不受环境因素的影响。它们都符合 DIN ISO 或 MIL 标准的严格要求。

您可以受益于我们多年的经验和丰富的专业知识。请联系我们的专家咨询 — 他们将乐于开发定制金属反射镜,满足您的确切需求。

优点

  • 一致:反射仅在有限程度上取决于入射角
  • 尺寸精确:可适应几何形状复杂的工件
  • 稳定:可耐受不良环境条件
  • 符合标准:符合 DIN ISO 或 MIL 标准

应用领域

  • 半导体设备:用于光束引导的金属镜
  • 数字成像:用于图像捕获和目标检测的金属镜
  • 汽车行业:用于计量和设备技术的金属镜

成功解决方案示例:深紫外(DUV)激光器的激光反射镜

深紫外(DUV)激光反射镜 - Las 104

深紫外(DUV)激光器的激光反射镜

任务:
对于用于控制深紫外(DUV)激光器辐射的各种元件,生产、清洁高反射性元件及为其覆加涂层需要特殊工艺。

我们的解决方案:

  • 按系列批量生产 266 nm、248 nm 和 193 nm 波长的高反射元件。
  • 在 45° 角实现确保优异的反射率值:248 nm 时 R > 99.0%,或 193 nm 时 R > 97.0%
  • 元件的生命周期满足最苛刻的工业要求。例如,在强度为 10 mJ/cm² 时,193 nm 高反射镜的生命周期的是 5 x 109 脉冲。
  • 193 nm 激光的破坏阈值为超过 1.5 J/cm²(1-on-1,25 ns 的脉冲长度)。

JENOLAS 104 涂层可以作为标准产品提供。

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元件

你有什么问题吗?我们的专家很乐意提供帮助。

Robin Bai

+86 21 38252380

Optics & Optical Systems

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